研究結果表明，利用飛秒激光燒蝕-電感耦合等離子體質譜法可以對太陽電池薄膜的成分進行高精度的定量分析。結果表明，在飛秒激光束（λ = 1030 nm, τ = 450 fs）掃描CIGS表面時，采樣條件對掃描結果有較大的影響。在z+u+i佳采樣條件下測得的fs-LA-ICP-MS信號，通常與電感耦合等離子體發(fā)射光譜法(ICP-OES)測量的參考濃度呈一條校準直線。fs-LA-ICP-MS預測的銅、銦、鎵、硒元素的濃度比準確度較高，達到ICP-OES測定值的95% - 97%。